标准编号:GB/T 25915.6-2010
标准名称:洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:苏州市洁净室科技促进中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市标准化研究院等
标准状态:现行
发布日期:2011-01-14
实施日期:2011-05-01
标准格式:PDF
内容简介
GB/T 25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25916.1和GB/T 25916.2中的术语和定义。
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