标准编号：GB/T 4059-2007
标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称：Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：蛾眉半导体材料厂
标准状态：现行
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。
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