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GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦

标准编号:GB/T 16943-1997
标准名称:电子工业用气体 氦
英文名称:Gases for electronic industry--Helium
发布部门:国家技术监督局
起草单位:化学工业部西南化工研究院
标准状态:作废
发布日期:1997-08-13
实施日期:1998-05-01
标准格式:PDF
内容简介
标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦,在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等
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