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GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

标准编号:GB/T 24581-2009
标准名称:低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
英文名称:Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:四川新光硅业科技有限责任公司
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
标准格式:PDF
内容简介
电子级多晶硅生产者和使用者都可采用LTFT-IR光谱来对多晶硅进行质量保证和研发目的的测量。
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