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GB/T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

标准编号:GB/T 13387-2009
标准名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
英文名称:Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:有研半导体材料股份有限公司
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
标准格式:PDF
内容简介
基准面长度对于半导体加工过程中使用材料的适应性是一项重要的参数。晶片自动操作设备被广泛应用于半导体制造业中,它们是通过晶片主参考面识别和定位获得正确的对准。
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