标准编号:GB/T 26113-2010
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
英文名称:Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院
标准状态:现行
发布日期:2011-01-10
实施日期:2011-10-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
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