标准编号：HG/T 4509-2013
标准名称：工业高纯氢氟酸
英文名称：High purity hydrofluoric acid for industrial use
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司 等
标准状态：现行
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014年3月1日
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
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