标准编号：JC/T 181-2011
标准名称：半导体用透明石英玻璃器件
英文名称：Transparent quartz glass devices for semiconductor
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：中国建筑材料检验认证中心
标准状态：现行
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012年7月1日
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
下载地址