标准编号:JY/T 013-1996
标准名称:子能谱法通则
英文名称:General rules for electron spectroscopic analysis
发布部门:国家教育委员会
起草单位:国家教育委员会
标准状态:现行
发布日期:1997-01-23
实施日期:1997-04-01
标准格式:PDF
内容简介
本通则规定了电子能谱的一般表面分析方法,适用于具有X射线光电子能谱(XPS或ESCA)、饿歇电子能谱(AES)和二次离子质谱(SIMS)功能的电子能谱仪。
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