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YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法

标准编号:YS/T 26-1992
标准名称:硅片边缘轮郭检验方法
发布部门:中国有色金属工业总公司
起草单位:洛阳单晶硅厂
发布日期:1992-03-09
实施日期:1993年1月1日
标准状态:现行
标准格式:PDF
文件大小:60.65 KB
内容简介
本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。
本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓。
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