标准编号：YS/T 23-1992
标准名称：硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
发布部门：中国有色金属工业总公司
起草单位：上海市有色金属总公司
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993年1月1日
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：90.45 KB
内容简介
本标准规定了根据堆垛层错尺寸测量硅处延层厚度的方法。
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