标准编号：YS/T 25-1992
标准名称：硅抛光片表面清洗方法
发布部门：中国有色金属工业总公司
起草单位：上海第二冶炼厂
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
标准状态：作废
标准格式：PDF
文件大小：57.41 KB
内容简介
本标准规定了硅抛光片表面的清洗方法。本标准适用于硅抛光片表面的清洗，经清洗后表面再现原来的状态。本标准不适用于表面存在环氧树脂之类有机残留物的硅抛光皮的清洗。
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