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JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

标准编号:JJF 1351-2012
标准名称:扫描探针显微镜校准规范
英文名称:Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
发布部门:国家质量监督检验检疫总局
起草单位:中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
标准状态:现行
发布日期:2012-06-18
实施日期:2012-12-18
标准格式:PDF
内容简介
本规范适用于以几何量表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准
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