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GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性

标准编号:GB/T 29558-2013
标准名称:表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性
英文名称:Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy - Repeatability and constancy of intensity scale
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:中国科学技术大学
标准状态:现行
发布日期:2013-07-19
实施日期:2014-03-01
标准格式:PDF
内容简介
针对常规分析使用的电子枪能量至少为2 keV的俄歇电子能谱仪,本标准规定了一种评估其强度标的重复性和恒定性的方法。它仅适用于配备了溅射清洁用离子枪的仪器。
本标准并非旨在成为一种强度/能量响应函数的校准,这种校准可由仪器厂商或者其他机构制定。
本方法提供数据以评估和确认仪器使用中强度/能量响应函数保持恒定的精度,对可影响这种恒定性的一些仪器设置给出了指导。
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