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GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范

标准编号:GB/T 32815-2016
标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology- Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
标准状态:现行
发布日期:2016-08-29
实施日期:2017-03-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。
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