标准编号：GB/T 32188-2015
标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-12-10
实施日期：2016-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
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