标准编号：GB/T 15862-2012
标准名称：离子注入机通用规范
英文名称：General specification of ion implantation equipment
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
标准状态：现行
发布日期：2012-11-05
实施日期：2013-02-15
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了离子注人机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于半导体工艺用电能离子注人机。其他离子注人机亦可参照使用。
本标准适用于半导体工艺用电能离子注人机。其他离子注人机亦可参照使用。
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