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YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

标准编号:YS/T 24-2016
标准名称:外延钉缺陷的检验方法
英文名称:Test methods for spike of epitaxial layers
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
标准状态:现行
发布日期:2016-04-05
实施日期:2016-09-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。
本标准不能测量钉缺陷的高度。
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