标准编号：YS/T 1141-2016
标准名称：钛蒸发料
英文名称：Evaporated titanium material
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
标准状态：现行
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
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