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YS/T 1142-2016 钒蒸发料

标准编号:YS/T 1142-2016
标准名称:钒蒸发料
英文名称:Evaporated vanadium material
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:有研亿金新材料有限公司、北京有色金属研究总院
标准状态:现行
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。
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