标准编号：JJF 1100-2016
标准名称：平面等厚干涉仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
起草单位：中国测试技术研究院、中国计量科学研究院、中国科学院光电技术研究所、中测测试科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2016-11-30
实施日期：2017-05-30
标准格式：PDF
内容简介
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。
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