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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法

标准编号:YS/T 1124-2016
标准名称:磁性溅射靶材透磁率测试方法
英文名称:Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
标准状态:现行
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
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