标准编号：GB/T 34971-2017
标准名称：半导体制造用气体处理指南
英文名称：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
发布部门：国家质检总局 国家标准委
起草单位：中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院
标准状态：现行
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。
本标准适用于半导体制造用气体的处理。
本标准适用于半导体制造用气体的处理。
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