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YS/T 679-2008 非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法

标准编号:YS/T 679-2008
标准名称:非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法
英文名称:Test methods for minority carrier diffusion length in extrinsic semiconductors by measurement of steady-steady-state surface photovoltage
发布部门:中华人民共和国国家发展和改革委员会
起草单位:有研半导体材料股份有限公司
标准状态:现行
发布日期:2008-03-12
实施日期:2008-09-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准适用于非本征单晶半导体材料样品或相同导电类型重掺衬底上沉积己知电阻率的同质外延层中的少数载流子扩散长度的测量。要求样品或外延层厚度大于4倍的扩散长度。
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