标准编号：YS/T 1060-2015
标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy-Gas chromatographic method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定范围下限为0.002%。
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