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DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范

标准编号:DB44/T 1328-2014
标准名称:蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
英文名称:Testing technical specification for patterned sapphire substrate
发布部门:广东省质量技术监督局
起草单位:
标准状态:现行
发布日期:2014-04-18
实施日期:2014-07-18
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了用于制备LED的蓝宝石图形化衬底片的测试技术规范,包括蓝宝石图形化衬底片的图形结构、表面质量、图形一致性的测试要求和测试方法。
本标准适用于制备半导体照明器件的氮化物外延生长所用蓝宝石图形化衬底片。
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