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SJ/T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

标准编号:SJ/T 11487-2015
标准名称:半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
英文名称:Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
标准状态:现行
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的非接触式测量方法。
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