标准编号：JB/T 12067-2014
标准名称：TDL-GX硅芯生长炉
英文名称：TDL-GX silicon core growing furnace
发布部门：工业和信息化部
起草单位：西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、国家质量监督检验中心、中冶电炉工程技术中心、陕西省电炉工程技术研究中心
标准状态：现行
发布日期：2014-07-09
实施日期：2014-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了对TDL-GX硅芯生长炉（简称硅芯炉）产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订购和供货等。
本标准适用于高频感应加热、釆用基座法生长硅基发热载体的设备。
本标准适用于高频感应加热、釆用基座法生长硅基发热载体的设备。
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