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YS/T 791-2012 铂靶

标准编号:YS/T 791-2012
标准名称:铂靶
英文名称:Platinum target
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司
标准状态:现行
发布日期:2012-11-07
实施日期:2013-03-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材,其他用途的铂靶材也可参照使用。
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