标准编号:YS/T 893-2013
标准名称:电子薄膜用高纯钛溅射靶材
英文名称:High-purity sputtering titanium target used in electronic film
发布部门:工业和信息化部
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司
标准状态:现行
发布日期:2013-10-17
实施日期:2014-03-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。
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