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SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法

标准编号:SJ/T 11499-2015
标准名称:碳化硅单晶电学性能的测试方法
英文名称:Test method for measuring electrical properties of monocrystalline silicon carbide
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准状态:现行
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了利用范德堡法测试6H、4H等晶型碳化硅单晶的导电类型、电阻率、迁移率、载流子浓度的方法。
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