标准编号：SJ/T 11707-2018
标准名称：硅通孔几何测量术语
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：
发布日期：2018-02-09
实施日期：2018-04-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：6.28 MB
内容简介
本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。
本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。
本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。
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