标准编号：YS/T 935-2013
标准名称：电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
英文名称：Standard guide for analysis and reporting the impurity content and grade of high purity metallic sputtering targets for electronic thin film applications
发布部门：工业和信息化部
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子薄膜制备用高纯金属溅射靶材的纯度等级的定义方法、杂质含量分析方法、抽样规则及靶材纯度等级报告标准规范等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯金属溅射靶材。其他对纯度有较高要求的靶材纯度等级、杂质含量分析及报告规范也可参照使用。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯金属溅射靶材。其他对纯度有较高要求的靶材纯度等级、杂质含量分析及报告规范也可参照使用。
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