标准编号：YS/T 14-2015
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
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