标准编号：YS/T 1164-2016
标准名称：硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
英文名称：Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
发布部门：工业和信息化部
起草单位：亚洲硅业(青海)有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定。
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