T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨

本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。
本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。
分子式： NH3。
相对分子质量： 17.031（按 2016 年国际相对原子量）。