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GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范

标准编号:GB/T 16523-1996
标准名称:圆形石英玻璃光掩模基板规范
英文名称:Specification for round quartz photomask substrates
发布部门:国家技术监督局
起草单位:长沙韶光微电子总公司
标准状态:现行
发布日期:1996-09-09
实施日期:1997-05-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了圆形石英玻璃光掩模基板的技术要求、试验方法等内容。
本标准适用于圆形石英玻璃光掩模基板。
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