标准编号：GB/T 14264-2009
标准名称：半导体材料术语
英文名称：Semiconductor materials-terms and definitions
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。
本标准的附录A和附录B为资料性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准经技术委员会提出。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。
本标准的附录A和附录B为资料性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准经技术委员会提出。
下载地址