标准编号：GB/T 18867-2002
标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中核红华特种气体股份有限公司
标准状态：作废
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。
本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。
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