标准编号：GB/T 16944-1997
标准名称：电子工业用气体 氮
英文名称：Gases for electronic industry--Nitrogen
发布部门：国家技术监督局
起草单位：化学工业部西南化工研究院
标准状态：作废
发布日期：1997-08-13
实施日期：1998-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。
下载地址