标准编号：GB/T 24582-2009
标准名称：酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
英文名称：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：新光硅业科技责任有限公司
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质，并用电感耦合等离子质谱仪定量检测多晶硅表面上的金属杂质痕量分析方法。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。
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