标准编号：JC/T 2372-2016
标准名称：集成电路用石英舟
英文名称：Quartz boats for IC industry
发布部门：工业和信息化部
起草单位：上海强华石英有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、久智光电子材料科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2016-07-11
实施日期：2017-01-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。
本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。
本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。
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