标准编号：JB/T 6922-1993
标准名称：真空蒸发镀膜设备
发布部门：中华人民共和国机械工业部
起草单位：沈阳真空技术研究所
发布日期：1993-07-13
实施日期：1994-07-01
标准状态：作废
标准格式：PDF
文件大小：197.74 KB
内容简介
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在7×10∧-3～7×10∧-6Pa范围的真空蒸发镀膜设备。
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