标准编号：BS ISO 23812-2009
标准名称：表面化学分析 次级离子质谱分析法 用多δ层基准物质对硅进行深度校准的方...
英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials
发布部门：
起草单位：BSI
标准状态：现行
发布日期：2009-05-31
实施日期：2009-05-31
标准格式：PDF
内容简介
分析;校准;化学分析和试验;深度测量;质谱学;参考材料;次级离子质谱分析法;硅;规范(验收);表面化学;表面处理;表面;试验
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