标准编号：BS EN ISO 14644-8-20
标准名称：洁净室及相关受控环境.气态分子污染
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Classification of airborne molecular contamination
发布部门：
起草单位：BSI
标准状态：现行
发布日期：2006-09-29
实施日期：2006-09-29
标准格式：PDF
内容简介
空气污染;空气净化;空调终端设备;空调系统;大气污染;化学物质;分类;分类系统;无菌室;洁净室技术;一直性;合格;建筑工程;污染;定义;设计;环境;泄漏率;泄漏;低压;分子物理学;粒子数;计划;压力过载;纯空气;分离装置;规范;标准气候;物质;试验;温度致适;验证
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