标准编号：BS PAS 135-2007
标准名称：纳米制造用术语
英文名称：Terminology for nanofabrication
发布部门：
起草单位：BSI
标准状态：现行
发布日期：2007-12-31
实施日期：2007-12-31
标准格式：PDF
内容简介
化学工艺过程;覆层工艺;蚀刻;纳米材料;纳米技术;照相平版印刷;生产;术语;词汇
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