标准编号：JB/T 6922-2004
标准名称：真空蒸发镀膜设备
英文名称：Vacuum evaporation coating plant
发布部门：国家发展和改革委员会
起草单位：沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2004-10-20
实施日期：2005年4月1日
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。
本标准适用于极限压力在5×10-4Pa～5×10-3Pa范围的真空蒸发镀膜设备。
本标准适用于极限压力在5×10-4Pa～5×10-3Pa范围的真空蒸发镀膜设备。
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