标准编号：JB/T 10439-2004
标准名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
英文名称：Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method
发布部门：国家发展和改革委员会
起草单位：西安理工大学晶体生长设备研究所
标准状态：现行
发布日期：2004-03-12
实施日期：2004年8月1日
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。
本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
下载地址