标准编号:JB/T 10553-2006
标准名称:真空技术 扩散硅压阻真空计
英文名称:Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge
发布部门:国家发展和改革委员会
起草单位:沈阳真空技术研究所
标准状态:现行
发布日期:2006-05-06
实施日期:2006年10月1日
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。
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