标准编号：YS/T 644-2007
标准名称：铂钌合金薄膜测定方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量
英文名称：Determination method of Pt-Ru alloy film determination of alloyed Pt content and alloyed Ru content by X-ray photoelectron spectroscopy
发布部门：国家发展和改革委员会
起草单位：Determination method of Pt-Ru alloy film determination of alloyed Pt content and alloyed Ru content by X-ray photoelectron spectroscopy
标准状态：现行
发布日期：2007-04-13
实施日期：2007年10月1日
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌含量的测定方法。
本标准适用于铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌含量的测定。也可适用于铂合金薄膜材料中合金态铂及合金态金属含量的测定。
本标准不适用于单层厚度不大于10nm的层状薄膜。
本标准适用于铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌含量的测定。也可适用于铂合金薄膜材料中合金态铂及合金态金属含量的测定。
本标准不适用于单层厚度不大于10nm的层状薄膜。
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